반도체 클린룸을 위한 초저침투 공기 필터
U15(99.9995%) / U16(99.99995%) on 0.1μm
반도체 클린룸용 핫멜트 스페이서와 알루미늄 압출 프레임의 미니플리트 타입 ULPA 필터.
슈퍼 클린룸 환경을 위한 자기소화성 우레탄 실란트 및 알루미늄 프레임의 표준 용량 ULPA 필터.